超純水氮封裝置

EDI超純水氮封裝置產(chǎn)品說(shuō)明

 本實(shí)用新型屬于超純水氮封裝技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于電子超純水的氮封系統(tǒng)。在范圍內(nèi)，新材料不斷研發(fā)和進(jìn)步，對(duì)水的需求越來(lái)越高，同時(shí)，水資源日趨匱乏也是企業(yè)所面臨的現(xiàn)狀，因此，水技術(shù)市場(chǎng)的發(fā)展前景是*的。純水和超純水的生產(chǎn)便是其中非常重要的組成部分。在電子半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)工序中需要用到大量的超純水進(jìn)行沖洗，edi系統(tǒng)制取出的超純水需要進(jìn)行封存，不能與空氣接觸，否則空氣中的co2、o2和雜質(zhì)會(huì)因接觸水體而影響水質(zhì)。

特點(diǎn)：  

1、無(wú)需外加能源，能在無(wú)電、無(wú)氣的場(chǎng)合工作，既方便，又節(jié)約能源，降低成本.   

2、氮封裝置供氮、泄氮壓力設(shè)定方便，可在連續(xù)生產(chǎn)的條件下進(jìn)行.   

3、壓力檢測(cè)膜片有效面積大，設(shè)定彈簧剛度小，動(dòng)作靈敏，裝置工作平穩(wěn).   

4、采用無(wú)填料設(shè)計(jì)，閥桿所受摩擦力小，反應(yīng)迅速，控制精度高.

5、供氮裝置采用指揮器操作，減壓比可達(dá)100:1，減壓效果好，控制精度高.

一種純水系統(tǒng)的氮?dú)夤?jié)能裝置，包括純水箱，氮?dú)膺M(jìn)氣管及補(bǔ)水管，所述純水箱還通過(guò)水箱溢流管與水封桶的水箱連接管相連，還設(shè)置有進(jìn)水閥和液位計(jì)，其通過(guò)液位傳感器與純水箱外部的液位控制器相連接，達(dá)到節(jié)約氮?dú)庀牧康哪康?；授?quán)公告號(hào)一種氮封水箱，通過(guò)在純水水箱中設(shè)置的氮封閥等氮封系統(tǒng)，使水箱內(nèi)氮?dú)獾臍庀嗫臻g壓力維持在2.5kpa左右，當(dāng)氣相空間壓力高于2.5kpa時(shí)，氮封閥關(guān)閉，停止氮?dú)夤?yīng)；當(dāng)氣相空間壓力低于2.5kpa時(shí)，氮封閥開(kāi)啟，開(kāi)始補(bǔ)充氮?dú)?，保證水箱在正常運(yùn)行過(guò)程中不吸進(jìn)空氣，防止空氣中的塵埃、co2等污染物進(jìn)入di水(去離子水)中形成二次污染；一種純水系統(tǒng)的氮?dú)夤?jié)能裝置，采用空氣減壓閥、電磁閥的設(shè)置，通過(guò)微調(diào)壓力表，用來(lái)檢測(cè)氮封水箱中的氮?dú)鈮毫?，根?jù)氮封水箱氮?dú)鈮毫刂疲{(diào)節(jié)氮?dú)廨敵觥?/p>

空氣中含有二氧化碳、細(xì)菌、塵埃等雜質(zhì)，而超純水為純的溶劑，對(duì)這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng)，故一旦超純水與空氣接觸，就會(huì)使其電阻率迅速下降，實(shí)踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會(huì)下降至3-4MΩ.cm，3分鐘以后就會(huì)下降到2MΩ.cm左右，因此超純水的儲(chǔ)存容器應(yīng)避免水體與空氣的接觸。

常見(jiàn)處理超純水與空氣接觸的方法：

充氮法：

即在水箱水面上充入氮?dú)馐瓜鋬?nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫?，阻止大氣與箱內(nèi)水面接觸。

薄膜袋法：

即在在水箱內(nèi)設(shè)置袋狀薄膜覆蓋于水面上，薄膜袋隨水位升降，減少水面與空氣接觸面積。

浮頂法：

即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面，并用輕質(zhì)彈性材料（如海綿、發(fā)泡塑料等）遮蓋浮頂與箱間的間隙，浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機(jī)會(huì)。

在上述三種方法中又以氮封水箱見(jiàn)。

氮封水箱的工作原理：

超純水氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi)，水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥?0Kpa，氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO2 等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。

氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成，而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成，當(dāng)儲(chǔ)罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí)，快速泄放閥迅速開(kāi)啟，將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí)，開(kāi)啟閥門，向罐內(nèi)充注氮?dú)?。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用壓力為0.1Mpa壓力以下，現(xiàn)場(chǎng)N2壓力較高，必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。壓力可按要求分段設(shè)定，從0.5Kpa至60Kpa以下。

☆微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值如：3Kpa；

☆泄氮設(shè)定值的設(shè)定應(yīng)遠(yuǎn)離供氮壓力值，如：8Kpa；

☆具體壓力的設(shè)定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量和水箱容量大小來(lái)確定選擇。

☆N2 的純度為99.995％以上。

EDI超純水氮封裝置技術(shù)參數(shù)和性能

閥體

執(zhí)行器

性能

五、 額定流量系數(shù)、額定行程、性能

供氮裝置

泄氮裝置

1 供氮裝置主要技術(shù)參數(shù)及性能指標(biāo)

2泄氨裝置主要技術(shù)參數(shù)及性能指標(biāo)

 外形尺寸及重量

1供氮裝置外形尺寸及重量

2泄氮裝置外形尺寸及重量

所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開(kāi)度輸出值與所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)通過(guò)控制器相聯(lián)鎖，所述控制器可以為單片機(jī)，其一個(gè)控制端與所述比例調(diào)節(jié)閥相連，另一個(gè)控制端與所述液位傳感器相連，當(dāng)所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)升高時(shí)，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開(kāi)度增大（流向副容器的流量減?。?dāng)所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)降低時(shí)，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開(kāi)度減小（流向副容器的流量增大）。

實(shí)際運(yùn)行過(guò)程中氮封水箱可能會(huì)不起作用，這需要我們分析故障原因，一般而言泄放閥與微壓調(diào)節(jié)閥不動(dòng)作是主要的原因。針對(duì)上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種用于電子超純水的氮封系統(tǒng)，用于edi系統(tǒng)制取的超純水的封存，通過(guò)設(shè)置比例調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度與外供泵的流量聯(lián)鎖控制，可根據(jù)外供泵的流量大小，控制比例調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度，調(diào)節(jié)進(jìn)入氮封水箱的通道，最終達(dá)到一個(gè)氮封水箱液位恒定的目的，達(dá)到節(jié)省高純氮?dú)獾哪康摹?/p>

氮封裝置安裝事項(xiàng)

（1）安裝前，檢查整機(jī)零件是否缺損與松動(dòng)，對(duì)管道應(yīng)進(jìn)行清洗，介質(zhì)流向應(yīng)與閥體上的箭頭指向*。

（2）為便于現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)與操作，閥四周應(yīng)留有適當(dāng)空間與設(shè)置旁路手動(dòng)閥，閥組安裝方案。

（3）閥門應(yīng)正立垂直安裝在水平管道上，閥體與管道的法塵連接，要注意同軸度，并應(yīng)安裝在環(huán)境溫度不超過(guò)-25～55℃的場(chǎng)合使用。

 訂貨須知：

一、①產(chǎn)品名稱與型號(hào)②口徑③是否帶附件以便我們的為您正確選型④使用壓力⑤使用介質(zhì)的溫度。
二、若已經(jīng)由設(shè)計(jì)單位選定公司的型號(hào)，請(qǐng)型號(hào)直接向我司銷售部訂購(gòu)。

三、當(dāng)使用的場(chǎng)合非常重要或環(huán)境比較復(fù)雜時(shí),請(qǐng)您盡量提供設(shè)計(jì)圖紙和詳細(xì)參數(shù)，由我們申弘閥門的技術(shù)為您審核把關(guān)。產(chǎn)品所屬調(diào)節(jié)閥系列，感謝您訪問(wèn)我們申弘閥門的如有任何疑問(wèn).您可以致電給我們,我們一定會(huì)盡心盡力為您提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。如需要了解更多其它閥類產(chǎn)品的信息可以點(diǎn)擊減壓閥查看。